苏州海铂晶体采用CHES熔炉实现大口径C贸易

时间:2020-12-25 04:09:49

从事LED芯片制造用蓝宝石基板及蓝宝石材料生产的苏州海铂晶体有限公司,开始采用ARC Energy公司开发的“CHES(Controlled Heat Extraction System,控热提取系统)熔炉”量产大口径蓝宝石芯体。苏州海铂晶体是一家中外合资企业,成立于2010年12月,2012年8月开始使用CHES熔炉量产50~200mm(2~8英寸)的蓝宝石芯体、立即可用的晶圆及图案式蓝宝石基板(PSS)晶圆。

CHES溶炉可使蓝宝石结晶直接在C轴生长,材料利用率高。据苏州海铂晶体介绍,以往结晶生长方法的材料利用效率只有 5%,而CHES熔炉高达75%。另外,操作也几乎全部为自动化,对操作人员的依赖度较低。据ARC Energy介绍,该公司的CHES溶炉2011年7月累计供货量突破了100台。

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